Chemical Structure, Optical and Dielectric Properties of PECVD SiCN Films Obtained from Novel Precursor Научная публикация
Журнал |
Coatings
ISSN: 2079-6412 |
||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|
Вых. Данные | Год: 2022, Том: 12, Номер: 11, Номер статьи : 1767, Страниц : DOI: 10.3390/coatings12111767 | ||||||
Авторы |
|
||||||
Организации |
|
Библиографическая ссылка:
Ermakova E.
, Mogilnikov K.
, Asanov I.
, Fedorenko A.
, Yushina I.
, Kichay V.
, Maksimovskiy E.
, Kosinova M.
Chemical Structure, Optical and Dielectric Properties of PECVD SiCN Films Obtained from Novel Precursor
Coatings. 2022. V.12. N11. 1767 . DOI: 10.3390/coatings12111767 WOS OpenAlex
Chemical Structure, Optical and Dielectric Properties of PECVD SiCN Films Obtained from Novel Precursor
Coatings. 2022. V.12. N11. 1767 . DOI: 10.3390/coatings12111767 WOS OpenAlex
Идентификаторы БД:
Web of science: | WOS:000894691000001 |
OpenAlex: | W4309738712 |
Цитирование в БД:
БД | Цитирований |
---|---|
Web of science | 4 |