Реализация терагерцовых фильтров высоких частот на основе цельнометаллических микроструктур с использованием глубокой рентгенолитографии Full article
Journal |
Автометрия
ISSN: 0320-7102 |
||||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
Output data | Year: 2019, Volume: 55, Number: 2, Pages: 14-27 Pages count : 14 DOI: 10.15372/AUT20190202 | ||||||||||||
Tags | глубокая рентгеновская литография, LIGA-технология, микроструктуры, квазиоптические фильтры, терагерцовый диапазон | ||||||||||||
Authors |
|
||||||||||||
Affiliations |
|
Abstract:
Описывается методика создания квазиоптических фильтров высоких частот терагерцового диапазона на базе толстых (толщиной до 1 мм) самонесущих медных микроструктур субволновой топологии. Методика основана на рентгенолитографическом формировании высокоаспектной резистивной маски из рентгенорезиста SU-8 на кремниевой подложке с использованием вольфрамового рентгеношаблона и последующим гальваническим выращиванием медного слоя через резистивную маску. Рассмотрен пример структуры толщиной 212 мкм с частотой отсечки 0,42 ТГц, имеющей топологию гексагонально упакованных отверстий шестиугольной формы. Представлены результаты широкополосной ТГц-характеризации полученной структуры и её электродинамического анализа.
Cite:
Генцелев А.Н.
, Кузнецов С.А.
, Дульцев Ф.Н.
, Гольденберг Б.Г.
, Зелинский А.Г.
, Кондратьев В.И.
, Таныгина Д.С.
Реализация терагерцовых фильтров высоких частот на основе цельнометаллических микроструктур с использованием глубокой рентгенолитографии
Автометрия. 2019. Т.55. №2. С.14-27. DOI: 10.15372/AUT20190202 РИНЦ OpenAlex
Реализация терагерцовых фильтров высоких частот на основе цельнометаллических микроструктур с использованием глубокой рентгенолитографии
Автометрия. 2019. Т.55. №2. С.14-27. DOI: 10.15372/AUT20190202 РИНЦ OpenAlex
Dates:
Submitted: | Oct 22, 2018 |
Accepted: | Dec 24, 2018 |
Published print: | Mar 1, 2019 |
Identifiers:
Elibrary: | 37268796 |
OpenAlex: | W3208189695 |
Citing:
Пока нет цитирований